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エフコン マスフローコントローラーC1000 N/C 200sccm N2 C1005NC-4S2-200-N2 1個 67-8168-60(直送品)ガスレギュレーター/ガス流量調節器
エフコン マスフローコントローラーC1000 N/C 200sccm N2 C1005NC-4S2-200-N2 1個 67-8168-60(直送品)

エフコン マスフローコントローラーC1000 N/C 200sccm N2 C1005NC-4S2-200-N2 1個 67-8168-60(直送品) ガスレギュレーター/ガス流量調節器

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新品 66,103円 (税込)
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商品詳細情報

管理番号 新品 :https://www.askul.co.jp/p/RR94519/
中古 :https://www.askul.co.jp/p/RR94519/1
メーカー ガスレギュレーター/ガス流量調節器 発売日 2026-03-18 定価 66,103円
原型 ガスレギュレーター/ガス流量調節器
カテゴリ

エフコン マスフローコントローラーC1000 N/C 200sccm N2 C1005NC-4S2-200-N2 1個 67-8168-60(直送品)ガスレギュレーター/ガス流量調節器

商品の特徴 ●ノーマルクローズ仕様
メーカー名 エフコン ガス種類N2
サイズ127×25.5×100mmバルブ形式N/Cノーマルクローズ
入出力アナログ信号(0~5VDC)再現性±0.2%FS
動作圧力範囲50~300kPa外部リークレート1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
応答性6sec接ガス部材質SUS316、PTFE、フッ素ゴム
接続1/4インチSWL相当流量F.S.200sccm
流量制御範囲5~100%FS流量精度±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
耐圧1MPa(G)通信方式アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
電源+15VDC±5%60mA、ー15VDC±5%150mA
備考 【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。
エフコン マスフローコントローラーC1000 N/C 200sccm N2 C1005NC-4S2-200-N2 1個 67-8168-60(直送品)

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